Author Affiliations +
S. Lozenko,1 T. Shapoval,2 G. Ben-Dov,3 Z. Lindenfeld,3 B. Schulz,1 L. Fuerst,1 C. Hartig,1 R. Haupt,2 M. Ruhm,1 R. Wang4
1GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG (Germany)
2KLA-Tencor GmbH (Germany)
3KLA-Tencor Israel (Israel)
4KLA-Tencor China (China)